鎓盐和其作为潜酸的用途

Onium salts and the use therof as latent acids

Abstract

化学放大光刻胶组合物,包括:(a)在酸的作用下固化的化合物或其溶解度在酸的作用下增加的化合物;和(b)作为光敏酸给体的式Ia,Ib,Ic,IIa或IIc的至少一种化合物:其中R<sub>1</sub>是例如C<sub>1</sub>-C<sub>5</sub>烷基,C<sub>3</sub>-C<sub>30</sub>环烷基,C<sub>1</sub>-C<sub>5</sub>卤代烷基,C<sub>2</sub>-C<sub>12</sub>链烯基,C<sub>4</sub>-C<sub>8</sub>环烯基,C<sub>6</sub>-C<sub>12</sub>双环烯基,苯基,萘基,蒽基,菲基,或是杂芳基;所有这些是未取代的或是取代的;任选一些取代基与在苯基、萘基、蒽基、菲基或杂芳基环上的其它取代基,或与苯基、萘基、蒽基、菲基或杂芳基环上的碳原子之一形成5或6元环;R<sub>1</sub>’是例如C<sub>1</sub>-C<sub>12</sub>亚烷基,C<sub>3</sub>-C<sub>30</sub>亚环烷基,亚苯基,亚萘基,二亚苯基,或氧联二亚苯基,其中这些基团是未取代或取代的;A和B例如是直接键;Ar<sub>1</sub>和Ar<sub>2</sub>彼此独立是苯基,萘基,蒽基,菲基或杂芳基,所有这些是未取代或取代的;Ar<sub>3</sub>,Ar<sub>4</sub>和Ar<sub>5</sub>例如具有以上对于Ar<sub>1</sub>和Ar<sub>2</sub>给出的含义之一;Y是例如C<sub>3</sub>-C<sub>30</sub>亚环烷基,亚苯基,亚萘基,二亚苯基或氧联二亚苯基,所有这些是未取代或取代的。

Claims

Description

Topics

Download Full PDF Version (Non-Commercial Use)

Patent Citations (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle

NO-Patent Citations (0)

    Title

Cited By (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle