Laser machinining

激光加工

Abstract

用UV或绿色激光束6在冷却的液体卤化物环境中加工硅体W。在加工部位附近用激光束局部加热液体卤化物足以引发硅体和液体卤化物之间的反应,这种反应加快了加工速度,提高了加工质量并减少了激光加工生成的碎片。

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